汽車租賃模板

靜壓軸承系統(tǒng)

采用非接觸式運行模式，具備超高剛性與運行穩(wěn)定性，可有效抑制振動引發(fā)的表面加工缺陷，完美適配硬脆材料加工需求。

低應力加工技術

大幅降低晶圓加工過程中產(chǎn)生的微裂紋與內(nèi)應力，顯著提升晶圓加工良率與產(chǎn)品可靠性。

智能監(jiān)測與 AI 診斷功能

搭載實時反饋監(jiān)測系統(tǒng)，對主軸運行狀態(tài)、負載壓力及砂輪架工況進行全程監(jiān)控，可有效預防晶圓崩裂、及時識別晶圓加工質(zhì)量異常，提升設備有效作業(yè)率。

定制化適配能力

可根據(jù)客戶需求定制卡盤規(guī)格，全面支持多尺寸半導體材料的減薄加工工藝。

高精度減薄加工能力

支持微米級厚度精準控制，可將 300 毫米硅片減薄至 50 微米以下，且晶圓總厚度偏差（TTV）小于 2 微米。